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ST8000
·最小的光斑测量亚微型样品
·多个点同时测量
·半音测试4种掩饰方法
活动范围
370mm x 470 mm
测量范围
100Å~ 2.5㎛ at Sub-micron size
光斑尺寸
~ 0.2㎛ x 0.2㎛
测量速度
14sec./Area
应用领域
半色调测量并具有ST6000/7000的所有功能
特征
具有ST6000的所有功能
精确图案测量
自动调焦
电荷耦合器件照相机
模式识别
通讯接口模块传达方式
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